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案例分享

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用于光譜共聚焦、OCT斷層掃描鏡的遠(yuǎn)心掃描鏡設(shè)計(jì)

遠(yuǎn)心掃描鏡的核心優(yōu)勢(shì):

消除視差誤差:在普通鏡頭下,當(dāng)物體表面有高度起伏時(shí),激光束的入射點(diǎn)會(huì)偏移,導(dǎo)致加工或測(cè)量位置錯(cuò)誤(即視差)。遠(yuǎn)心系統(tǒng)能完全避免這個(gè)問(wèn)題,確保光束始終垂直入射,位置準(zhǔn)確無(wú)誤。

保持恒定的加工/測(cè)量尺寸:由于放大倍率不隨物距變化,在凹凸不平的表面上進(jìn)行加工(如焊接、打標(biāo))或測(cè)量時(shí),特征的尺寸能始終保持一致。

無(wú)論是光譜共聚焦還是OCT,它們都是點(diǎn)掃描成像技術(shù)。這意味著:

為了構(gòu)建一幅二維(2D)或三維(3D)圖像,必須讓這個(gè)探測(cè)點(diǎn)在樣品上進(jìn)行二維(X-Y)掃描。

實(shí)現(xiàn)這種高速、精確二維掃描的核心部件就是掃描鏡(通常是振鏡系統(tǒng))。所以,掃描鏡是這兩種技術(shù)成像的基礎(chǔ),不可或缺。

下面我們分享一個(gè)三年前做過(guò)的案例:

1、主要技術(shù)指標(biāo)

焦距:75mm

遠(yuǎn)心:像方遠(yuǎn)心光路

入瞳口徑:6mm

入瞳距離:55mm

出瞳距離:55mm

掃描角度:±12°

smj.png

圖1 光學(xué)結(jié)構(gòu)

根據(jù)技術(shù)要求我們?cè)O(shè)計(jì)了一款6片式像方遠(yuǎn)心鏡頭,光學(xué)總長(zhǎng)110mm,如圖1,。

光學(xué)評(píng)價(jià)如下:

mtf.png

圖2 MTF曲線(xiàn)

dianlietu.png

圖3 點(diǎn)列圖

gc.png

圖5 公差分析


圖6 樣品圖

我們對(duì)遠(yuǎn)心掃描鏡頭做了公差分析,完全滿(mǎn)足客戶(hù)使用,進(jìn)行了樣機(jī)的加工和小批量試制,客戶(hù)反饋非常好!,以下是樣品實(shí)物圖:

sss.png

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